The işlevi:   Kimyasal buhar biriktirme sisteminin işlevi, altlık üzerine ince filmler biriktirmek, malzeme özelliklerini iyileştirmek, işlevsel cihazlar üretmek, yüzey modifikasyonunu gerçekleştirmek, ince filmlerin kalınlığını hassas bir şekilde kontrol etmek, ürün kalitesini iyileştirmek, araştırma ve geliştirmeye yardımcı olmaktır. yüksek proses kontrol edilebilirliği, büyük ölçekli üretim kapasitesi ve muhtemelen daha düşük maliyet avantajlarıyla entegre devre üretiminde vb. kullanılabilir.